Name: UV 400 測(cè)溫儀
Brand: Advanced Energy/優(yōu)儀
Availability: InStock

產(chǎn)品分類

通用紅外測(cè)溫儀

更多分類

相關(guān)文章

您的位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > > 通用紅外測(cè)溫儀 > UV 400 測(cè)溫儀

產(chǎn)品中心

: 產(chǎn)品名稱： UV 400 測(cè)溫儀

描述：UV 400 測(cè)溫儀用于GaN基外延的晶圓表面溫度和反射率真實(shí)測(cè)量，溫度范圍650…1300℃

訪問次數(shù)： 2468

更新時(shí)間： 2025-04-09

在線詢價(jià) >聯(lián)系我們 >

產(chǎn)品介紹

UV 400 測(cè)溫儀詳細(xì)說明

UV 400的前身TR 2100是*采用集成反射計(jì)(2001年)的高溫計(jì)，為使用光纖鏡頭和950 nm激光實(shí)時(shí)測(cè)量發(fā)射率建立了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。藍(lán)寶石光管傳感器和實(shí)時(shí)的黑體校準(zhǔn)源取得的研究進(jìn)展提供了完整的溫度測(cè)量解決方案。

UV 400和UVR 400系統(tǒng)是專門為GaN基MOCVD外延工藝開發(fā)的下一代溫度傳感器。這些傳感器可以直接測(cè)量晶圓表面溫度，而非傳統(tǒng)的基座溫度。UVR 400較UV 400 增加了一個(gè)635 nm，0.5 kHz測(cè)量速度的反射率測(cè)量?jī)x，可測(cè)量沉積厚度.

這些系統(tǒng)正在為 LED 生產(chǎn)過程設(shè)定一個(gè)新的標(biāo)準(zhǔn)，其結(jié)果顯示工藝溫度和終產(chǎn)品波長(zhǎng)之間存在可靠的相關(guān)性.這種直接測(cè)量的方法可以更精確地控制晶片溫度，從而提高成品率

主要特點(diǎn)

使用紫外波段直接測(cè)量GaN層溫度；
使用脈沖光源實(shí)時(shí)快速測(cè)量發(fā)射率；
使用真正的光計(jì)數(shù)儀器將測(cè)量中的噪聲降至低；
防止由于延遲采樣（無快門打開和關(guān)閉）而造成的數(shù)據(jù)偏差
測(cè)溫范圍：650 至 1300℃
重復(fù)精度 0.01 °C (see TN-828)

典型應(yīng)用

GaN 基 MOCVD 外延工藝

技術(shù)指標(biāo)

測(cè)量參數(shù)
溫度范圍:	650 至 1300°C
子溫度區(qū)間:	溫度范圍內(nèi)任意可調(diào)，小跨度 51°C
響應(yīng)波長(zhǎng):	383 至 410 nm
探測(cè)器:	光電倍增管, 暗計(jì)數(shù)范圍小于原始值的 1% @ 650°C
兩次測(cè)量之間的等待時(shí)間:	少于 1 μs
分辨率:	軟件顯示0.1℃；模擬輸出不超過設(shè)定范圍的 0.025%
發(fā)射率 ε:	0.100 至 1.000 調(diào)整步幅 0.001
透射率 τ:	0.100 至 1.000 調(diào)整步幅 0.001
積分時(shí)間;	少8ms
測(cè)量不確定度: (ε = 1, t90 = 1 s, Thous. = 28°C)	小于 1000°C, 3°C; 大于 1000°C, 0.3%;
重復(fù)性: (ε = 1, t90 = 1 s, Thous. = 28°C)	0.1% 或 0.1°C
電參數(shù)
功耗:	大5W
負(fù)載（模擬輸出）:	0 至 500 ?
隔離:	電源，模擬輸出，數(shù)字接口彼此隔離

環(huán)境參數(shù)
防護(hù)等級(jí):	IP 40 IEC 60529
真空和氣體:	設(shè)備可承受氮?dú)夂驼婵眨ǖ陀?0 mbar），外殼有氣孔
安裝位置:	任意
環(huán)境溫度:	10 至 38 °C
存儲(chǔ)溫度:	-20 至 50 °C
相對(duì)濕度:	非凝露
重量:	2.5 kg
外殼:	發(fā)黑氧化鋁
CE 認(rèn)證:	根據(jù)歐盟有關(guān)電磁抗擾度的指令
接口
模擬輸出:	0 到 20 mA 或 4 到 20 mA, 線性
數(shù)字輸出:	RS485可尋址（半雙工）波特率：1200 至 38400
大值存儲(chǔ):	內(nèi)置單存儲(chǔ)器或雙存儲(chǔ)器 tclear 可調(diào)(off; 0.01 s; 0.05 s; 0.25 s; 1 s; 5 s; 25 s),
反射率測(cè)試（僅 UVR400）
測(cè)試范圍:	0 至 100%
速率:	1000 Hz
光源:	激光二極管
測(cè)量波長(zhǎng)	635 nm ±5 nm
測(cè)量不確定度:	測(cè)量范圍的 2%
重復(fù)精度:	測(cè)量范圍的 5%
晶圓片允許傾斜公差:	0.3°
鏡頭工作距離 a:	100mm
模擬輸出:	0到20 mA 或 4到20 mA ;可切換
負(fù)載:	0 到 500 Ohm

UV 400 測(cè)溫儀

相關(guān)產(chǎn)品

沒有相關(guān)產(chǎn)品信息...

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

(上一篇)：ThermAsset2Luxtron熒光光纖測(cè)溫儀
(下一篇)：Photrix 紅外測(cè)溫儀

UV 400 測(cè)溫儀

UV 400 測(cè)溫儀詳細(xì)說明

主要特點(diǎn)

典型應(yīng)用

技術(shù)指標(biāo)

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說明：

驗(yàn)證碼：