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主要特點
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詳細說明
AIXTRON機臺測溫儀EX-C-7FL系BASF生產的高精度藍寶石光管高溫計，被用作用作AIXTRON G3,G4,G5 MOCVD機臺底部的測溫系統(tǒng)(BOTTOM TEMPERATURE MONITOR)。
AIXTRON機臺測溫儀EX-C-7FL包含EI110傳感器，光纖，藍寶石光管，IFD5數字模塊，IFA5模擬模塊，配套線纜等，測溫范圍覆蓋100-1800℃，精度高達1.5℃, 重復性0.1℃。
BASF Exactus®系列測溫儀已廣泛用于快速退火、快速氧化、薄膜沉積等半導體工藝，并被集成在多家MOCVD設備以及其他RTP設備上如：AIXTRON， LPE，Premtek等。另外，由于其具有很高的測溫精度和穩(wěn)定性，也被一些高溫黑體爐廠家作為溫度標準器使用，如Thermogauge公司。
典型應用
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技術參數
| 測量參數 | |
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| 溫度范圍: | 100 – 1800℃ |
| 工作波長: | 1550nm |
| 測量精度: | 優(yōu)于1.5℃ 或 0.15%測值 |
| 分辨率: | 最高0.01℃ |
| 重復精度: | 0.1℃ |
| 溫度漂移: | 最大 0.10℃/年 環(huán)境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度 |
| 鏡頭: | 藍寶石光管 |
| 物理參數 | |
|---|---|
| 供電: | 12-28 VDC, 3W |
| 存儲溫度: | -20 to 70℃ |
| 環(huán)境溫度: | 電子器件: 0 - 60℃ |
| 外殼材質: | 傳感器和鏡頭外殼，304 不銹鋼/鋁； 氣吹外殼，鋁； 惡劣環(huán)境專用鏡頭: 304 不銹鋼； |
| 重量: | 標準高溫計，0.510 kg (1.125 lbs.) 光纖傳感器，0.198 kg (7 oz.) |
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